莱宝分子泵-莱宝分子泵维修保养-广州潽拓光电公司(多图)-广州潽拓光电科技有限公司

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Leybold 莱宝TMP361C涡轮分子泵维修,Leybold TMP361C德国莱宝涡轮分子泵可任意角度安装，Leybold TMP361C德国莱宝分子泵进气法兰口DN160ISO-K/DN160CF，出气法口DN25，抽速可达到400 L/s。广州潽拓光电科技有限公司维修Leybold 莱宝TMP361C涡轮全系列分子泵，可提供24小时快速维修保养技术服务，欢迎咨询联系。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵

TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- CVD；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象，选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。